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硅碳棒元件在1000℃以上长期使用能与氧气和水蒸气发生如下作用

  2016/10/22 13:38:49
 

    硅碳棒元件在1000℃以上长期使用能与氧气和水蒸气发生如下作用:
①Sic+2O2→Sio2+CO2 ②Sic+4H2O=Sio2+4H2+CO2
    致使元件中Sic2含量逐渐增多,电阻随之缓慢增加,为之老化。如水蒸气过多,会促进Sic氧化,由②式反应产生的H2与空气中的O2给合H2O再反应产生恶性循环。降低元件寿命。氢气(H2)能使元件机械强度降低。氮气(N2)在1200℃以下能防止Sic氧化1350℃以上与SC发生反应,使Sic分解氯气(Cl2)能使Sic完全分解。
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